Lees het volgende artikel.

IC's worden met meerdere tegelijk gemaakt door een ronde plaat te 'belichten'. Zie figuur 3.
Dit proces heet lithografie. De IC's worden daarna uit deze plaat gesneden.
Voor het belichten wordt een stralingsbron gebruikt met een golflengte van193\operatorname{nm}193\operatorname{m}193\operatorname{mm}193\operatorname{mm}m193\operatorname{mm}193m193193n.


